تعتمد وحدة التحكم في الطاقة من سلسلة TPM5 فكرة تصميم الوحدة وتدمج ما يصل إلى 6 دوائر بالداخل.تستخدم المنتجات بشكل رئيسي في أفران الانتشار، PECVD، أفران الفوقية، إلخ.