وحدة تحكم الطاقة من سلسلة TPM5
-
وحدة تحكم الطاقة من سلسلة TPM5
تعتمد وحدة تحكم الطاقة من سلسلة TPM5 على فكرة تصميم الوحدة، وتدمج ما يصل إلى 6 دوائر داخلية. تُستخدم هذه المنتجات بشكل رئيسي في أفران الانتشار، وأفران PECVD، وأفران التراكب، وغيرها.