قوة الميكروويف
-
مصدر طاقة الميكروويف
يعد مصدر طاقة تحويل الميكروويف نوعًا جديدًا من مصدر طاقة الميكروويف استنادًا إلى تقنية العاكس عالية التردد IGBT. إنه يدمج مصدر طاقة الأنود عالي الجهد، ومصدر طاقة الفتيل، ومصدر طاقة المجال المغناطيسي (باستثناء مصدر طاقة الميكروويف 3 كيلو وات). يوفر المغنطرون الموجي ظروف العمل. يتم استخدام هذا المنتج في MPCVD، ونقش البلازما بالميكروويف، وإزالة صمغ البلازما بالميكروويف وغيرها من المجالات.