الترسيب
احصل على رؤى وتسريع عملية التطوير.
تقدم شركة Advanced Energy حلولاً لإمدادات الطاقة والتحكم لتطبيقات ترسيب الأغشية الرقيقة الحرجة وهندسة الأجهزة. ولحل تحديات معالجة الرقاقات، تتيح لكم حلولنا لتحويل الطاقة بدقة تحسين دقة الطاقة والدقة والسرعة وإمكانية تكرار العملية.
نقدم مجموعة واسعة من ترددات التردد اللاسلكي، وأنظمة الطاقة المستمرة، ومستويات خرج الطاقة المخصصة، وتقنيات المطابقة، وحلول مراقبة درجة الحرارة عبر الألياف الضوئية، مما يُمكّنكم من التحكم بشكل أفضل في بلازما العملية. كما ندمج Fast DAQ™ ومجموعة أدوات جمع البيانات وإمكانية الوصول إليها لتوفير فهم أعمق للعملية وتسريع عملية التطوير.
تعرف على المزيد حول عمليات تصنيع أشباه الموصلات لدينا للعثور على الحل الذي يناسب احتياجاتك.
تحديك
من الأفلام المستخدمة في تصميم أبعاد الدوائر المتكاملة إلى الأفلام الموصلة والعازلة (الهياكل الكهربائية)، إلى الأفلام المعدنية (الترابط)، تتطلب عمليات الترسيب الخاصة بك التحكم على المستوى الذري - ليس فقط لكل ميزة ولكن عبر الرقاقة بأكملها.
بالإضافة إلى البنية نفسها، يجب أن تكون أفلامك المرسبة عالية الجودة. يجب أن تتمتع ببنية حبيبية مثالية، وتجانس، وسمك مطابق، وأن تكون خالية من الفراغات، هذا بالإضافة إلى توفيرها للإجهادات الميكانيكية (الضغط والشد) والخصائص الكهربائية المطلوبة.
يستمر التعقيد في الازدياد. لمعالجة قيود الطباعة الحجرية (عقد أقل من 1x نانومتر)، تتطلب تقنيات النمذجة المزدوجة والرباعية ذاتية المحاذاة أن تُنتج عملية الترسيب النمط وتُعيد إنتاجه على كل رقاقة.
حلنا
عندما تقوم بنشر تطبيقات الترسيب وهندسة الأجهزة الأكثر أهمية، فإنك تحتاج إلى شركة رائدة موثوقة في السوق.
تتيح لك تقنية توصيل الطاقة RF والمطابقة عالية السرعة من Advanced Energy تخصيص وتحسين دقة الطاقة والسرعة وإمكانية تكرار العملية المطلوبة لجميع عمليات ترسيب PECVD وPEALD المتقدمة.
استخدم تقنية مولد التيار المستمر الخاصة بنا لضبط استجابة القوس القابلة للتكوين ودقة الطاقة والسرعة وقابلية تكرار العملية المطلوبة لعمليات ترسيب PVD (الرش) وECD.
فوائد
● تحسين استقرار البلازما وإمكانية تكرار العملية يزيدان من العائد
● يساعد التوصيل الدقيق للترددات الراديوية والتيار المستمر مع التحكم الرقمي الكامل على تحسين كفاءة العملية
● الاستجابة السريعة لتغيرات البلازما وإدارة القوس
● النبض متعدد المستويات مع ضبط التردد التكيفي يحسن انتقائية معدل الحفر
● دعم عالمي متاح لضمان أقصى قدر من وقت التشغيل وأداء المنتج