إيداع
الحصول على رؤى وتسريع عملية التطوير.
توفر شركة Advanced Energy حلولاً لإمدادات الطاقة والتحكم لتطبيقات ترسيب الأغشية الرقيقة الهامة وهندسة الأجهزة.لحل تحديات معالجة الرقاقات، تسمح لك حلول تحويل الطاقة الدقيقة لدينا بتحسين دقة الطاقة وإحكامها وسرعتها وتكرار العملية.
نحن نقدم مجموعة واسعة من ترددات الترددات اللاسلكية، وأنظمة طاقة التيار المستمر، ومستويات إخراج الطاقة المخصصة، والتقنيات المطابقة، وحلول مراقبة درجة حرارة الألياف الضوئية التي تمكنك حقًا من التحكم بشكل أفضل في بلازما العملية.نقوم أيضًا بدمج Fast DAQ™ ومجموعة الحصول على البيانات وإمكانية الوصول إليها لتوفير نظرة ثاقبة للعملية وتسريع عملية التطوير.
تعرف على المزيد حول عمليات تصنيع أشباه الموصلات لدينا للعثور على الحل الذي يناسب احتياجاتك.
التحدي الخاص بك
بدءًا من الأفلام المستخدمة لنمذجة أبعاد الدوائر المتكاملة إلى الأفلام الموصلة والعازلة (الهياكل الكهربائية)، إلى الأفلام المعدنية (التوصيل البيني)، تتطلب عمليات الترسيب التحكم على المستوى الذري - ليس فقط لكل ميزة ولكن عبر الرقاقة بأكملها.
وبعيدًا عن الهيكل نفسه، يجب أن تكون أفلامك المودعة ذات جودة عالية.يجب أن تمتلك البنية الحبيبية المطلوبة، والاتساق، والسمك المطابق، وأن تكون خالية من الفراغات - وهذا بالإضافة إلى توفير الضغوط الميكانيكية المطلوبة (الضغط والشد) والخواص الكهربائية.
ويستمر التعقيد في الزيادة.لمعالجة قيود الطباعة الحجرية (العقد الفرعية 1X نانومتر)، تتطلب تقنيات الزخرفة المزدوجة والرباعية ذاتية المحاذاة عملية الترسيب الخاصة بك لإنتاج وإعادة إنتاج النموذج على كل رقاقة.
الحل لدينا
عندما تقوم بنشر تطبيقات الترسيب الأكثر أهمية وهندسة الأجهزة، فإنك تحتاج إلى شركة رائدة موثوقة في السوق.
يمكّنك توصيل طاقة التردد اللاسلكي وتقنية المطابقة عالية السرعة من Advanced Energy من تخصيص وتحسين دقة الطاقة والدقة والسرعة وتكرار العملية المطلوبة لجميع عمليات ترسيب PECVD وPEALD المتقدمة.
استخدم تقنية مولد التيار المستمر لدينا لضبط استجابة القوس القابلة للتكوين، ودقة الطاقة، والسرعة، وتكرار العملية المطلوبة لعمليات ترسيب PVD (الخرق) وECD.
فوائد
● يؤدي تحسين استقرار البلازما وتكرار العملية إلى زيادة الإنتاجية
● يساعد التوصيل الدقيق للترددات اللاسلكية والتيار المستمر مع التحكم الرقمي الكامل على تحسين كفاءة العملية
● الاستجابة السريعة لتغيرات البلازما وإدارة القوس
● يعمل النبض متعدد المستويات مع ضبط التردد التكيفي على تحسين انتقائية معدل الحفر
● يتوفر الدعم العالمي لضمان أقصى قدر من وقت التشغيل وأداء المنتج